广西师范大学学报(自然科学版)
廣西師範大學學報(自然科學版)
엄서사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF GUANGXI NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2000年
3期
16-19
,共4页
秦友兰%王万录%赵作峰%肖金龙%董玉峰
秦友蘭%王萬錄%趙作峰%肖金龍%董玉峰
진우란%왕만록%조작봉%초금룡%동옥봉
SnO2 薄膜%Sol-Gel 工艺%XRD 分析%灵敏度
SnO2 薄膜%Sol-Gel 工藝%XRD 分析%靈敏度
SnO2 박막%Sol-Gel 공예%XRD 분석%령민도
采用无机试剂(SnCl4.5H2O)为原料,用溶胶-凝胶 (Sol-Gel)法制备研制气敏传感器的SnO2薄膜,研究了SnO2薄膜的电阻随掺杂和温度 的变化关系,并且用XRD对SnO2薄膜进行分析.结果表明,掺杂和热处理温度对薄膜晶 粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度.
採用無機試劑(SnCl4.5H2O)為原料,用溶膠-凝膠 (Sol-Gel)法製備研製氣敏傳感器的SnO2薄膜,研究瞭SnO2薄膜的電阻隨摻雜和溫度 的變化關繫,併且用XRD對SnO2薄膜進行分析.結果錶明,摻雜和熱處理溫度對薄膜晶 粒呎吋的大小、薄膜的結構形態均有較大的影響,進而影響薄膜的電導及傳感器的靈敏度.
채용무궤시제(SnCl4.5H2O)위원료,용용효-응효 (Sol-Gel)법제비연제기민전감기적SnO2박막,연구료SnO2박막적전조수참잡화온도 적변화관계,병차용XRD대SnO2박막진행분석.결과표명,참잡화열처리온도대박막정 립척촌적대소、박막적결구형태균유교대적영향,진이영향박막적전도급전감기적령민도.
