复旦学报（自然科学版）
複旦學報（自然科學版）
복단학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUDAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2000年
2期
135-140
,共6页
阮刚%Thomas Otto%肖夏%Reinhard Streiter%Thomas Gessner
阮剛%Thomas Otto%肖夏%Reinhard Streiter%Thomas Gessner
원강%Thomas Otto%초하%Reinhard Streiter%Thomas Gessner
多晶硅电阻%晶粒数%晶粒平均长度%激活能
多晶硅電阻%晶粒數%晶粒平均長度%激活能
다정규전조%정립수%정립평균장도%격활능
提出了一种基于实测伏安特性确定多晶硅电阻中晶粒数及晶粒平均长度的方法.用该法得出的结果同透射电子显微镜(TEM)的实测统计结果符合较好.平均偏差小于15%.给出了基于多晶硅电阻电流温度关系实测曲线得出的晶粒边界激活能.结果显示:经H2气氛、450℃、30min退火的样品,其激活能高于未退火的.
提齣瞭一種基于實測伏安特性確定多晶硅電阻中晶粒數及晶粒平均長度的方法.用該法得齣的結果同透射電子顯微鏡(TEM)的實測統計結果符閤較好.平均偏差小于15%.給齣瞭基于多晶硅電阻電流溫度關繫實測麯線得齣的晶粒邊界激活能.結果顯示:經H2氣氛、450℃、30min退火的樣品,其激活能高于未退火的.
제출료일충기우실측복안특성학정다정규전조중정립수급정립평균장도적방법.용해법득출적결과동투사전자현미경(TEM)적실측통계결과부합교호.평균편차소우15%.급출료기우다정규전조전류온도관계실측곡선득출적정립변계격활능.결과현시:경H2기분、450℃、30min퇴화적양품,기격활능고우미퇴화적.
