材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2000年
3期
80-83
,共4页
反应射频磁控溅射%介电性质%非晶%氧化铝薄膜
反應射頻磁控濺射%介電性質%非晶%氧化鋁薄膜
반응사빈자공천사%개전성질%비정%양화려박막
在氧气、氩气的混合气氛中,利用反应射频磁控溅射制备了厚度在100到10纳米的非晶氧化铝薄膜.通过Al-Al2O3-Al电容器研究了此非晶薄膜的介电性质.
在氧氣、氬氣的混閤氣氛中,利用反應射頻磁控濺射製備瞭厚度在100到10納米的非晶氧化鋁薄膜.通過Al-Al2O3-Al電容器研究瞭此非晶薄膜的介電性質.
재양기、아기적혼합기분중,이용반응사빈자공천사제비료후도재100도10납미적비정양화려박막.통과Al-Al2O3-Al전용기연구료차비정박막적개전성질.
