真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
3期
199-202,207
,共5页
射频磁控溅射%计算机模拟%离子输运
射頻磁控濺射%計算機模擬%離子輸運
사빈자공천사%계산궤모의%리자수운
采用射频辉光放电等离子体壳层模型和蒙特卡罗法,模拟了射频磁控溅射镀膜中工作气体离子(Ar+)的输运过程,得到了离子到达靶面时的入射能量、角度和位置.模拟结果:对靶材溅射的离子主要来自于溅射坑上方的等离子体区域,初始离子的位置分布可通过靶材溅射坑的形貌拟合得到;离子的能量主要集中在壳层电压附近,离子大多数以垂直入射.模拟与实际相符,可用作进一步模拟离子对靶材溅射时的输入参数.
採用射頻輝光放電等離子體殼層模型和矇特卡囉法,模擬瞭射頻磁控濺射鍍膜中工作氣體離子(Ar+)的輸運過程,得到瞭離子到達靶麵時的入射能量、角度和位置.模擬結果:對靶材濺射的離子主要來自于濺射坑上方的等離子體區域,初始離子的位置分佈可通過靶材濺射坑的形貌擬閤得到;離子的能量主要集中在殼層電壓附近,離子大多數以垂直入射.模擬與實際相符,可用作進一步模擬離子對靶材濺射時的輸入參數.
채용사빈휘광방전등리자체각층모형화몽특잡라법,모의료사빈자공천사도막중공작기체리자(Ar+)적수운과정,득도료리자도체파면시적입사능량、각도화위치.모의결과:대파재천사적리자주요래자우천사갱상방적등리자체구역,초시리자적위치분포가통과파재천사갱적형모의합득도;리자적능량주요집중재각층전압부근,리자대다수이수직입사.모의여실제상부,가용작진일보모의리자대파재천사시적수입삼수.
