中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
1998年
10期
57-62
,共6页
尤晖%李川奇%沈连官%周华
尤暉%李川奇%瀋連官%週華
우휘%리천기%침련관%주화
传感器%电容%加速度传感器%微电子机械系统
傳感器%電容%加速度傳感器%微電子機械繫統
전감기%전용%가속도전감기%미전자궤계계통
综述了典型的电容式微加速度传感器的工作原理、结构和特点,并对这类传感器的若干关键技术及研究方向进行了探讨.
綜述瞭典型的電容式微加速度傳感器的工作原理、結構和特點,併對這類傳感器的若榦關鍵技術及研究方嚮進行瞭探討.
종술료전형적전용식미가속도전감기적공작원리、결구화특점,병대저류전감기적약간관건기술급연구방향진행료탐토.
