CAJ | 학술논문

应用脉冲激光沉积法和光刻技术我们成功地制作Ag/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-x(PZT/YBCO) 三端器件. 为了降低矫顽场, 应用变形相界(x≈0.53)的550纳米厚的PZT作为门电极, 通过优化沉积条件和门电极面积小型化(6×10-6cm2), 在64K下三端器件门电极显示了极好的电性能, 低的矫顽场(～37kV/cm)、大的饱和极化强度(60μC/cm2)、剩余极化强度(41μC/cm2)以及击穿电压～3×105V/cm. 对于我们的场效应器件, 在±9V的情况下沟道电阻被调制～3%.
응용맥충격광침적법화광각기술아문성공지제작Ag/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-x(PZT/YBCO) 삼단기건. 위료강저교완장, 응용변형상계(x≈0.53)적550납미후적PZT작위문전겁, 통과우화침적조건화문전겁면적소형화(6×10-6cm2), 재64K하삼단기건문전겁현시료겁호적전성능, 저적교완장(～37kV/cm)、대적포화겁화강도(60μC/cm2)、잉여겁화강도(41μC/cm2)이급격천전압～3×105V/cm. 대우아문적장효응기건, 재±9V적정황하구도전조피조제～3%.