电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
1999年
1期
137-140
,共4页
胡翘%王文伟%黄文浩%李尚志
鬍翹%王文偉%黃文浩%李尚誌
호교%왕문위%황문호%리상지
扫描探针显微镜(SPM)%零位光栅%纳米计量
掃描探針顯微鏡(SPM)%零位光柵%納米計量
소묘탐침현미경(SPM)%령위광책%납미계량
本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法.利用二维零位光栅作为整个系统的零点,可消除SPM仪器的累计误差.本文对二维零位原子光栅的原理,评价指标,评价指标极限的计算,作了详细介绍.本文给出了计算机仿真结果.对二维零位光栅的应用进行了展望.
本文提齣瞭一種用二維零位光柵來實現超高分辨率的絕對測量方法.利用二維零位光柵作為整箇繫統的零點,可消除SPM儀器的纍計誤差.本文對二維零位原子光柵的原理,評價指標,評價指標極限的計算,作瞭詳細介紹.本文給齣瞭計算機倣真結果.對二維零位光柵的應用進行瞭展望.
본문제출료일충용이유령위광책래실현초고분변솔적절대측량방법.이용이유령위광책작위정개계통적영점,가소제SPM의기적루계오차.본문대이유령위원자광책적원리,평개지표,평개지표겁한적계산,작료상세개소.본문급출료계산궤방진결과.대이유령위광책적응용진행료전망.
