硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
1998年
6期
726-731
,共6页
徐明霞%王卫艳%郑嘹赢%窦雁巍%徐廷献
徐明霞%王衛豔%鄭嘹贏%竇雁巍%徐廷獻
서명하%왕위염%정료영%두안외%서정헌
氧化钛系%超微粒薄膜%电阻稳定性%氧敏特性
氧化鈦繫%超微粒薄膜%電阻穩定性%氧敏特性
양화태계%초미립박막%전조은정성%양민특성
分别采用无机盐的水解-沉淀法和醇盐的溶胶-凝胶法两种工艺在Al2O3基片上制备TiOx(x=1-2.0)薄膜,研究了薄膜结构及氧敏特性. 结果表明:水解-沉淀法的膜层粒子分布均匀,工艺易控制;溶胶-凝胶法的膜层粒子更细微,相变温度较低. 两种工艺制得的超微粒薄膜都具有很好的电阻-温度稳定性. 膜层粒子愈超细化,分布愈均匀,氧敏特性愈高;薄膜厚度与气体检测灵敏度有密切关系,具有最佳膜层厚度值,两种工艺获得的薄膜最佳厚度稍有差异.
分彆採用無機鹽的水解-沉澱法和醇鹽的溶膠-凝膠法兩種工藝在Al2O3基片上製備TiOx(x=1-2.0)薄膜,研究瞭薄膜結構及氧敏特性. 結果錶明:水解-沉澱法的膜層粒子分佈均勻,工藝易控製;溶膠-凝膠法的膜層粒子更細微,相變溫度較低. 兩種工藝製得的超微粒薄膜都具有很好的電阻-溫度穩定性. 膜層粒子愈超細化,分佈愈均勻,氧敏特性愈高;薄膜厚度與氣體檢測靈敏度有密切關繫,具有最佳膜層厚度值,兩種工藝穫得的薄膜最佳厚度稍有差異.
분별채용무궤염적수해-침정법화순염적용효-응효법량충공예재Al2O3기편상제비TiOx(x=1-2.0)박막,연구료박막결구급양민특성. 결과표명:수해-침정법적막층입자분포균균,공예역공제;용효-응효법적막층입자경세미,상변온도교저. 량충공예제득적초미립박막도구유흔호적전조-온도은정성. 막층입자유초세화,분포유균균,양민특성유고;박막후도여기체검측령민도유밀절관계,구유최가막층후도치,량충공예획득적박막최가후도초유차이.
