上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
2002年
5期
730-732
,共3页
李戈扬%赖倩茜%虞晓江%顾明元
李戈颺%賴倩茜%虞曉江%顧明元
리과양%뢰천천%우효강%고명원
TiN/NbN纳米多层膜%调制结构%超硬度效应
TiN/NbN納米多層膜%調製結構%超硬度效應
TiN/NbN납미다층막%조제결구%초경도효응
采用反应溅射法制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜,并使用X射线衍射分析(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和显微硬度计表征了薄膜的调制结构、界面结构和显微硬度.结果表明:TiN/NbN多层膜具有周期性良好的调制结构,调制界面清晰、平直;薄膜呈现为多晶外延生长的面心立方结构;薄膜硬度出现异常升高的超硬度效应,并在调制周期为8.3 nm左右达到硬度峰值(HK 39.0 GPa).
採用反應濺射法製備瞭一繫列不同調製週期的TiN/NbN納米多層膜,併使用X射線衍射分析(XRD)、透射電子顯微鏡(TEM)和顯微硬度計錶徵瞭薄膜的調製結構、界麵結構和顯微硬度.結果錶明:TiN/NbN多層膜具有週期性良好的調製結構,調製界麵清晰、平直;薄膜呈現為多晶外延生長的麵心立方結構;薄膜硬度齣現異常升高的超硬度效應,併在調製週期為8.3 nm左右達到硬度峰值(HK 39.0 GPa).
채용반응천사법제비료일계렬불동조제주기적TiN/NbN납미다층막,병사용X사선연사분석(XRD)、투사전자현미경(TEM)화현미경도계표정료박막적조제결구、계면결구화현미경도.결과표명:TiN/NbN다층막구유주기성량호적조제결구,조제계면청석、평직;박막정현위다정외연생장적면심립방결구;박막경도출현이상승고적초경도효응,병재조제주기위8.3 nm좌우체도경도봉치(HK 39.0 GPa).
