光散射学报
光散射學報
광산사학보
CHINESE JOURNAL OF LIGHT SCATTERING
2002年
3期
178-182
,共5页
蔡炜颖%陆卫%李志锋%李守荣%梁平治%沈学础
蔡煒穎%陸衛%李誌鋒%李守榮%樑平治%瀋學礎
채위영%륙위%리지봉%리수영%량평치%침학출
Raman 光谱%Si桥%温度测定
Raman 光譜%Si橋%溫度測定
Raman 광보%Si교%온도측정
本文采用显微拉曼光谱实验的方法对红外目标模拟器中的重掺杂Si电阻微桥单元进行了绝对温度的测量,并根据斯托克斯与反斯托克斯强度与温度关系以及Raman峰位移动与温度依赖关系两种方法确定温度,保证了所测温度的可靠性.针对Si桥建立相应的Raman模型,选择合适的物理参数,最终得到了反映Si桥工作特性的电流-温度关系.此外,通过对Si桥的空间分辨的测量实验,得到了Si桥上的温度分布状况,对了解其电阻、热导及氧化等特性十分有用.所有结果表明该方法是器件优化的有效途径.
本文採用顯微拉曼光譜實驗的方法對紅外目標模擬器中的重摻雜Si電阻微橋單元進行瞭絕對溫度的測量,併根據斯託剋斯與反斯託剋斯彊度與溫度關繫以及Raman峰位移動與溫度依賴關繫兩種方法確定溫度,保證瞭所測溫度的可靠性.針對Si橋建立相應的Raman模型,選擇閤適的物理參數,最終得到瞭反映Si橋工作特性的電流-溫度關繫.此外,通過對Si橋的空間分辨的測量實驗,得到瞭Si橋上的溫度分佈狀況,對瞭解其電阻、熱導及氧化等特性十分有用.所有結果錶明該方法是器件優化的有效途徑.
본문채용현미랍만광보실험적방법대홍외목표모의기중적중참잡Si전조미교단원진행료절대온도적측량,병근거사탁극사여반사탁극사강도여온도관계이급Raman봉위이동여온도의뢰관계량충방법학정온도,보증료소측온도적가고성.침대Si교건립상응적Raman모형,선택합괄적물리삼수,최종득도료반영Si교공작특성적전류-온도관계.차외,통과대Si교적공간분변적측량실험,득도료Si교상적온도분포상황,대료해기전조、열도급양화등특성십분유용.소유결과표명해방법시기건우화적유효도경.
