功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2002年
1期
69-72
,共4页
PIII%PIC%等离子鞘层
PIII%PIC%等離子鞘層
PIII%PIC%등리자초층
采用PIC(Particalincall)方法考察了等离子体浸没式离子注入工艺中,样品和靶台的几何尺寸、形状及防止溅射沾污的绝缘材料对于注入离子径向分布的影响.并对模拟结果进行了讨论分析.结果表明,影响剂量分布的主要因素是基片和靶台的横向尺寸,为改善等离子体浸没式离子注入均匀性的研究提供参考数据.
採用PIC(Particalincall)方法攷察瞭等離子體浸沒式離子註入工藝中,樣品和靶檯的幾何呎吋、形狀及防止濺射霑汙的絕緣材料對于註入離子徑嚮分佈的影響.併對模擬結果進行瞭討論分析.結果錶明,影響劑量分佈的主要因素是基片和靶檯的橫嚮呎吋,為改善等離子體浸沒式離子註入均勻性的研究提供參攷數據.
채용PIC(Particalincall)방법고찰료등리자체침몰식리자주입공예중,양품화파태적궤하척촌、형상급방지천사첨오적절연재료대우주입리자경향분포적영향.병대모의결과진행료토론분석.결과표명,영향제량분포적주요인소시기편화파태적횡향척촌,위개선등리자체침몰식리자주입균균성적연구제공삼고수거.
