传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2001年
11期
63-65
,共3页
庄庆德%王善慈%陈书旺
莊慶德%王善慈%陳書旺
장경덕%왕선자%진서왕
传感器%微电子机械系统%微机械加工
傳感器%微電子機械繫統%微機械加工
전감기%미전자궤계계통%미궤계가공
介绍了日本微电子机械系统的发展现状.分析了该技术发展的背景、基础技术、应用领域、面临的问题以及今后发展的趋势.
介紹瞭日本微電子機械繫統的髮展現狀.分析瞭該技術髮展的揹景、基礎技術、應用領域、麵臨的問題以及今後髮展的趨勢.
개소료일본미전자궤계계통적발전현상.분석료해기술발전적배경、기출기술、응용영역、면림적문제이급금후발전적추세.
