北京工业大学学报
北京工業大學學報
북경공업대학학보
JOURNAL OF BEIJING POLYTECHNIC UNIVERSITY
2003年
2期
247-250
,共4页
史佳新%吉元%徐学东%肖卫强%张隐奇%郭汉生
史佳新%吉元%徐學東%肖衛彊%張隱奇%郭漢生
사가신%길원%서학동%초위강%장은기%곽한생
氧环境%扫描电镜%氧化物%荷电补偿
氧環境%掃描電鏡%氧化物%荷電補償
양배경%소묘전경%양화물%하전보상
在(5×10-3)～(2×10-2)Pa的氧环境扫描电镜(SEM)中观察到由入射电子束辐照引起的A12O3、SiO2等氧化物荷电现象得以减轻.氧化物受激氧解吸,使样品表面的氧空位成为荷电势阱而产生荷电.通过氧气氛中提供的氧离子对表面缺陷的修复作用,使氧化物的荷电现象得到补偿.氧环境扫描电子显微分析方法是针对氧化物类绝缘材料荷电的一种简便的、自动调节的荷电补偿方法.Al2O3的俄歇电子能谱证明,在6×10-6Pa的氧压下可以完全消除Al2O3的表面荷电.
在(5×10-3)～(2×10-2)Pa的氧環境掃描電鏡(SEM)中觀察到由入射電子束輻照引起的A12O3、SiO2等氧化物荷電現象得以減輕.氧化物受激氧解吸,使樣品錶麵的氧空位成為荷電勢阱而產生荷電.通過氧氣氛中提供的氧離子對錶麵缺陷的脩複作用,使氧化物的荷電現象得到補償.氧環境掃描電子顯微分析方法是針對氧化物類絕緣材料荷電的一種簡便的、自動調節的荷電補償方法.Al2O3的俄歇電子能譜證明,在6×10-6Pa的氧壓下可以完全消除Al2O3的錶麵荷電.
재(5×10-3)～(2×10-2)Pa적양배경소묘전경(SEM)중관찰도유입사전자속복조인기적A12O3、SiO2등양화물하전현상득이감경.양화물수격양해흡,사양품표면적양공위성위하전세정이산생하전.통과양기분중제공적양리자대표면결함적수복작용,사양화물적하전현상득도보상.양배경소묘전자현미분석방법시침대양화물류절연재료하전적일충간편적、자동조절적하전보상방법.Al2O3적아헐전자능보증명,재6×10-6Pa적양압하가이완전소제Al2O3적표면하전.
