发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2004年
3期
287-290
,共4页
周映雪%俞根才%吴志浩%张新夷
週映雪%俞根纔%吳誌浩%張新夷
주영설%유근재%오지호%장신이
氧化锌%分子束外延%X射线衍射%纳米晶%发光
氧化鋅%分子束外延%X射線衍射%納米晶%髮光
양화자%분자속외연%X사선연사%납미정%발광
利用分子束外延(MBE)和氧等离子体源辅助MBE方法分别在Si(100)、GaAs(100)和蓝宝石Al2O3(0001)衬底上用Zn、ZnS或以一定Zn-O化学计量比作缓冲层,改变衬底生长温度和氧压,并在氧气氛下,进行原位退火处理,得到ZnO薄膜.依据X射线衍射(XRD)图,表明样品的结晶性能尚好,且呈c轴择优取向;实验结果表明在不同衬底上生长的ZnO薄膜,由于晶格失配度不同,其衍射峰也有区别.用原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌,为晶粒尺寸约几十纳米的ZnO纳米晶,且ZnO晶粒呈六边形柱状垂直于衬底的表面.采用掠入射X射线反射率法测膜厚.在360nm激发下,样品的发光光谱是峰值为410,510nm的双峰谱,是与样品表面氧缺陷有关的深能级发光.
利用分子束外延(MBE)和氧等離子體源輔助MBE方法分彆在Si(100)、GaAs(100)和藍寶石Al2O3(0001)襯底上用Zn、ZnS或以一定Zn-O化學計量比作緩遲層,改變襯底生長溫度和氧壓,併在氧氣氛下,進行原位退火處理,得到ZnO薄膜.依據X射線衍射(XRD)圖,錶明樣品的結晶性能尚好,且呈c軸擇優取嚮;實驗結果錶明在不同襯底上生長的ZnO薄膜,由于晶格失配度不同,其衍射峰也有區彆.用原子力顯微鏡(AFM)觀測薄膜的錶麵形貌,為晶粒呎吋約幾十納米的ZnO納米晶,且ZnO晶粒呈六邊形柱狀垂直于襯底的錶麵.採用掠入射X射線反射率法測膜厚.在360nm激髮下,樣品的髮光光譜是峰值為410,510nm的雙峰譜,是與樣品錶麵氧缺陷有關的深能級髮光.
이용분자속외연(MBE)화양등리자체원보조MBE방법분별재Si(100)、GaAs(100)화람보석Al2O3(0001)츤저상용Zn、ZnS혹이일정Zn-O화학계량비작완충층,개변츤저생장온도화양압,병재양기분하,진행원위퇴화처리,득도ZnO박막.의거X사선연사(XRD)도,표명양품적결정성능상호,차정c축택우취향;실험결과표명재불동츤저상생장적ZnO박막,유우정격실배도불동,기연사봉야유구별.용원자력현미경(AFM)관측박막적표면형모,위정립척촌약궤십납미적ZnO납미정,차ZnO정립정륙변형주상수직우츤저적표면.채용략입사X사선반사솔법측막후.재360nm격발하,양품적발광광보시봉치위410,510nm적쌍봉보,시여양품표면양결함유관적심능급발광.
