真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2006年
1期
51-53,67
,共4页
张兆祥%柏鑫%于洁%张耿民%赵兴钰%薛增泉
張兆祥%柏鑫%于潔%張耿民%趙興鈺%薛增泉
장조상%백흠%우길%장경민%조흥옥%설증천
相干电子束%点投影显微镜%场发射显微镜
相榦電子束%點投影顯微鏡%場髮射顯微鏡
상간전자속%점투영현미경%장발사현미경
相干电子束能提供样品上许多重要的信息,点投影显微镜是研究电子束相干特性的有利工具,而高亮度相干电子束可以大大改善电子光学系统空间分辨和能量分辨,可以应用于电子全息摄影和电子干涉测量等领域.本实验装置包括三种模式:①点投影显微镜模式,可以用来研究相干电子束特性;②场离子显微镜模式,可以研究表面原子结构,提供具有原子分辨的实空间原子排列信息;③场发射显微镜模式,可以研究针形样品的场发射特性.这三种模式在一个超高真空系统中可以实时互换.目前实验装置已经达到3.1×10-8Pa压强,并观测了电子显微镜栅网的放大像.
相榦電子束能提供樣品上許多重要的信息,點投影顯微鏡是研究電子束相榦特性的有利工具,而高亮度相榦電子束可以大大改善電子光學繫統空間分辨和能量分辨,可以應用于電子全息攝影和電子榦涉測量等領域.本實驗裝置包括三種模式:①點投影顯微鏡模式,可以用來研究相榦電子束特性;②場離子顯微鏡模式,可以研究錶麵原子結構,提供具有原子分辨的實空間原子排列信息;③場髮射顯微鏡模式,可以研究針形樣品的場髮射特性.這三種模式在一箇超高真空繫統中可以實時互換.目前實驗裝置已經達到3.1×10-8Pa壓彊,併觀測瞭電子顯微鏡柵網的放大像.
상간전자속능제공양품상허다중요적신식,점투영현미경시연구전자속상간특성적유리공구,이고량도상간전자속가이대대개선전자광학계통공간분변화능량분변,가이응용우전자전식섭영화전자간섭측량등영역.본실험장치포괄삼충모식:①점투영현미경모식,가이용래연구상간전자속특성;②장리자현미경모식,가이연구표면원자결구,제공구유원자분변적실공간원자배렬신식;③장발사현미경모식,가이연구침형양품적장발사특성.저삼충모식재일개초고진공계통중가이실시호환.목전실험장치이경체도3.1×10-8Pa압강,병관측료전자현미경책망적방대상.
