CAJ | 학술논문

提出了一种用于测量微机电系统(MEMS)器件瞬时速度、位移的测量系统.采用激光差动多普勒技术,检测谐振器在平面内的振动,测量垂直于系统测量光轴方向的振动速度.并在差动多普勒测量光路的基础上加入了CCD监测光路,实时观察被测器件调整过程和振动情况.通过处理电路从光学系统输出的高频信号中提取多普勒信号,利用Labview和Matlab软件对采集的多普勒信号进行时频分析,得到被测器件的运动参量.通过对测点的微定位,对MEMS器件进行整平面的扫描,得到器件振动的瞬时速度场,为进一步对MEMS器件的高阶谱振动分析及扭转分析提供了一定的基础和必要的支持.
제출료일충용우측량미궤전계통(MEMS)기건순시속도、위이적측량계통.채용격광차동다보륵기술,검측해진기재평면내적진동,측량수직우계통측량광축방향적진동속도.병재차동다보륵측량광로적기출상가입료CCD감측광로,실시관찰피측기건조정과정화진동정황.통과처리전로종광학계통수출적고빈신호중제취다보륵신호,이용Labview화Matlab연건대채집적다보륵신호진행시빈분석,득도피측기건적운동삼량.통과대측점적미정위,대MEMS기건진행정평면적소묘,득도기건진동적순시속도장,위진일보대MEMS기건적고계보진동분석급뉴전분석제공료일정적기출화필요적지지.