电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2009年
3期
42-44
,共3页
无机非金属材料%ZAO薄膜%等离子体%发射光谱
無機非金屬材料%ZAO薄膜%等離子體%髮射光譜
무궤비금속재료%ZAO박막%등리자체%발사광보
采用在线测试等离子体发射光谱的方法,研究了ZnO薄膜和ZAO薄膜磁控溅射生长等离子体的状态,分析了ZAO薄膜生长过程中的工作压强、溅射功率和衬底温度这几个重要参数对等离子体状态影响的规律.结果表明:主要是等离子体中粒子的密度随实验参数发生规律性变化,其变化规律与实验参数对薄膜生长质量影响的规律基本一致,可以定性地解释影响薄膜结晶质量的直接原因.最佳参数为:压强0.2 Pa, 功率80 W和温度450 ℃.
採用在線測試等離子體髮射光譜的方法,研究瞭ZnO薄膜和ZAO薄膜磁控濺射生長等離子體的狀態,分析瞭ZAO薄膜生長過程中的工作壓彊、濺射功率和襯底溫度這幾箇重要參數對等離子體狀態影響的規律.結果錶明:主要是等離子體中粒子的密度隨實驗參數髮生規律性變化,其變化規律與實驗參數對薄膜生長質量影響的規律基本一緻,可以定性地解釋影響薄膜結晶質量的直接原因.最佳參數為:壓彊0.2 Pa, 功率80 W和溫度450 ℃.
채용재선측시등리자체발사광보적방법,연구료ZnO박막화ZAO박막자공천사생장등리자체적상태,분석료ZAO박막생장과정중적공작압강、천사공솔화츤저온도저궤개중요삼수대등리자체상태영향적규률.결과표명:주요시등리자체중입자적밀도수실험삼수발생규률성변화,기변화규률여실험삼수대박막생장질량영향적규률기본일치,가이정성지해석영향박막결정질량적직접원인.최가삼수위:압강0.2 Pa, 공솔80 W화온도450 ℃.
