仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2010年
7期
1541-1546
,共6页
李晓钰%陈向东%姚尧%李辉%杜广涛
李曉鈺%陳嚮東%姚堯%李輝%杜廣濤
리효옥%진향동%요요%리휘%두엄도
电容传感器%ANSYS%复杂结构电极
電容傳感器%ANSYS%複雜結構電極
전용전감기%ANSYS%복잡결구전겁
提出了两种新型单片电容传感器结构,用ANSYS软件对不同参数的传感器进行了仿真,分析了被测物距离、电极间隙和电极厚度对传感器初始电容和灵敏度的影响,并通过实验对仿真结果进行了验证.结果表明,测量系统的灵敏度与电极间隙和被测物距离近似成反比,传感器初始电容值随电极结构复杂度提高而增大;电极厚度对电容值的影响非单调,存在最优值.
提齣瞭兩種新型單片電容傳感器結構,用ANSYS軟件對不同參數的傳感器進行瞭倣真,分析瞭被測物距離、電極間隙和電極厚度對傳感器初始電容和靈敏度的影響,併通過實驗對倣真結果進行瞭驗證.結果錶明,測量繫統的靈敏度與電極間隙和被測物距離近似成反比,傳感器初始電容值隨電極結構複雜度提高而增大;電極厚度對電容值的影響非單調,存在最優值.
제출료량충신형단편전용전감기결구,용ANSYS연건대불동삼수적전감기진행료방진,분석료피측물거리、전겁간극화전겁후도대전감기초시전용화령민도적영향,병통과실험대방진결과진행료험증.결과표명,측량계통적령민도여전겁간극화피측물거리근사성반비,전감기초시전용치수전겁결구복잡도제고이증대;전겁후도대전용치적영향비단조,존재최우치.
