传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
12期
5-8,11
,共5页
岳陆游%何兴春%丁建宁%杨继昌%马皓晨
嶽陸遊%何興春%丁建寧%楊繼昌%馬皓晨
악륙유%하흥춘%정건저%양계창%마호신
微/纳机电系统%粘附%模型%设计
微/納機電繫統%粘附%模型%設計
미/납궤전계통%점부%모형%설계
粘附现象是微/纳机构中特有的现象,在构件材料强度满足要求的条件下,微/纳机构中的粘附和摩擦是造成其失效的主要原因.如何防止或减轻粘附已成为微/纳机电系统(MEMS/NEMS)领域的研究热点.介绍了微/纳机构中的粘附问题,分析了粘附机理和各种粘附接触模型,说明了表面能法和微凸体积分法防粘附设计微/纳机构的原理,最后阐述了释放干燥工艺、减少实际接触面积和降低表面能等各种抗粘附措施.
粘附現象是微/納機構中特有的現象,在構件材料彊度滿足要求的條件下,微/納機構中的粘附和摩抆是造成其失效的主要原因.如何防止或減輕粘附已成為微/納機電繫統(MEMS/NEMS)領域的研究熱點.介紹瞭微/納機構中的粘附問題,分析瞭粘附機理和各種粘附接觸模型,說明瞭錶麵能法和微凸體積分法防粘附設計微/納機構的原理,最後闡述瞭釋放榦燥工藝、減少實際接觸麵積和降低錶麵能等各種抗粘附措施.
점부현상시미/납궤구중특유적현상,재구건재료강도만족요구적조건하,미/납궤구중적점부화마찰시조성기실효적주요원인.여하방지혹감경점부이성위미/납궤전계통(MEMS/NEMS)영역적연구열점.개소료미/납궤구중적점부문제,분석료점부궤리화각충점부접촉모형,설명료표면능법화미철체적분법방점부설계미/납궤구적원리,최후천술료석방간조공예、감소실제접촉면적화강저표면능등각충항점부조시.
