计算物理
計算物理
계산물리
CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS
2012年
2期
227-233
,共7页
张连珠%赵海涛%孙倩%姚福保%杨巍
張連珠%趙海濤%孫倩%姚福保%楊巍
장련주%조해도%손천%요복보%양외
氮气射频放电%PIC/MC模拟%N2等离子体
氮氣射頻放電%PIC/MC模擬%N2等離子體
담기사빈방전%PIC/MC모의%N2등리자체
建立氮气容性射频等离子体过程的PIC/MC模型,将模拟结果与直流放电进行比较.结果表明:射频等离子体粒子(e,N2+,N+)的平均密度较直流放电约大一个量级,在射频电极附近粒子(e,N2+,N+)的平均能量比直流放电阴极附近的能量低3倍左右；密度偏低的原子离子N+在两电极附近具较高的能量,能量较低的分子离子N2+在放电空间具较高密度,N2+的密度大约是N+的6倍；计算的电子能量几率分布与测量结果一致.
建立氮氣容性射頻等離子體過程的PIC/MC模型,將模擬結果與直流放電進行比較.結果錶明:射頻等離子體粒子(e,N2+,N+)的平均密度較直流放電約大一箇量級,在射頻電極附近粒子(e,N2+,N+)的平均能量比直流放電陰極附近的能量低3倍左右；密度偏低的原子離子N+在兩電極附近具較高的能量,能量較低的分子離子N2+在放電空間具較高密度,N2+的密度大約是N+的6倍；計算的電子能量幾率分佈與測量結果一緻.
건립담기용성사빈등리자체과정적PIC/MC모형,장모의결과여직류방전진행비교.결과표명:사빈등리자체입자(e,N2+,N+)적평균밀도교직류방전약대일개량급,재사빈전겁부근입자(e,N2+,N+)적평균능량비직류방전음겁부근적능량저3배좌우；밀도편저적원자리자N+재량전겁부근구교고적능량,능량교저적분자리자N2+재방전공간구교고밀도,N2+적밀도대약시N+적6배；계산적전자능량궤솔분포여측량결과일치.
