功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年
2期
200-204
,共5页
LaNiO3%热处理%薄膜%电阻率
LaNiO3%熱處理%薄膜%電阻率
LaNiO3%열처리%박막%전조솔
研究了镍酸镧(分子式LaNiO3,简称LNO)导电薄膜的制备,及其与性能之间的关系.实验结果表明热处理制度和热处理过程中通氧是LNO薄膜获得良好电性能的关键.实验发现LNO薄膜在退火温度550℃时就已经晶化,并且随着退火温度的升高,薄膜电性能也随之提高,但是当温度高于860℃后,LNO薄膜发生了结构相变并伴有NiO的析出,因此导致了薄膜电阻率的升高.较短的预处理时间和较长的退火处理时间有助于薄膜晶粒的长大,从而提高薄膜的电性能.同时也讨论了LNO薄膜电阻率和工作温度的关系.
研究瞭鎳痠鑭(分子式LaNiO3,簡稱LNO)導電薄膜的製備,及其與性能之間的關繫.實驗結果錶明熱處理製度和熱處理過程中通氧是LNO薄膜穫得良好電性能的關鍵.實驗髮現LNO薄膜在退火溫度550℃時就已經晶化,併且隨著退火溫度的升高,薄膜電性能也隨之提高,但是噹溫度高于860℃後,LNO薄膜髮生瞭結構相變併伴有NiO的析齣,因此導緻瞭薄膜電阻率的升高.較短的預處理時間和較長的退火處理時間有助于薄膜晶粒的長大,從而提高薄膜的電性能.同時也討論瞭LNO薄膜電阻率和工作溫度的關繫.
연구료얼산란(분자식LaNiO3,간칭LNO)도전박막적제비,급기여성능지간적관계.실험결과표명열처리제도화열처리과정중통양시LNO박막획득량호전성능적관건.실험발현LNO박막재퇴화온도550℃시취이경정화,병차수착퇴화온도적승고,박막전성능야수지제고,단시당온도고우860℃후,LNO박막발생료결구상변병반유NiO적석출,인차도치료박막전조솔적승고.교단적예처리시간화교장적퇴화처리시간유조우박막정립적장대,종이제고박막적전성능.동시야토론료LNO박막전조솔화공작온도적관계.
