微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2006年
3期
138-140,149
,共4页
林伟%叶虎年%冯海%叶梅
林偉%葉虎年%馮海%葉梅
림위%협호년%풍해%협매
压电陶瓷致动器%高压运放%驱动电源
壓電陶瓷緻動器%高壓運放%驅動電源
압전도자치동기%고압운방%구동전원
根据压电陶瓷致动器对其驱动电源的要求,利用高压运放设计研制了一种新型的驱动电源,通过对压电驱动器的实验研究表明,其具有精度高、性能稳定、分辨率高、纹波小和电路结构简单等优点,能够满足微定位系统中压电陶瓷驱动器的控制需要.
根據壓電陶瓷緻動器對其驅動電源的要求,利用高壓運放設計研製瞭一種新型的驅動電源,通過對壓電驅動器的實驗研究錶明,其具有精度高、性能穩定、分辨率高、紋波小和電路結構簡單等優點,能夠滿足微定位繫統中壓電陶瓷驅動器的控製需要.
근거압전도자치동기대기구동전원적요구,이용고압운방설계연제료일충신형적구동전원,통과대압전구동기적실험연구표명,기구유정도고、성능은정、분변솔고、문파소화전로결구간단등우점,능구만족미정위계통중압전도자구동기적공제수요.
