压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2007年
2期
204-206
,共3页
氧化锌薄膜%(100)定向%(101)定向%磁控溅射
氧化鋅薄膜%(100)定嚮%(101)定嚮%磁控濺射
양화자박막%(100)정향%(101)정향%자공천사
采用射频磁控溅射法在载玻片上制备了不同择优取向的ZnO薄膜.结果表明,溅射功率在100～380 W范围内制备的ZnO薄膜呈(101)择优取向性,当功率上升至550 W时,薄膜则为(100)取向;基片温度升高有利于(002)面的生长,当基片温度为250℃时,在溅射功率为200 W时即可制得(002)面择优取向的薄膜.热处理温度的提高有助于(100)和(101)面的择优取向,而对(002)面的取向不利.同时,该文对ZnO薄膜不同择优取向生长的机制进行了探讨.
採用射頻磁控濺射法在載玻片上製備瞭不同擇優取嚮的ZnO薄膜.結果錶明,濺射功率在100～380 W範圍內製備的ZnO薄膜呈(101)擇優取嚮性,噹功率上升至550 W時,薄膜則為(100)取嚮;基片溫度升高有利于(002)麵的生長,噹基片溫度為250℃時,在濺射功率為200 W時即可製得(002)麵擇優取嚮的薄膜.熱處理溫度的提高有助于(100)和(101)麵的擇優取嚮,而對(002)麵的取嚮不利.同時,該文對ZnO薄膜不同擇優取嚮生長的機製進行瞭探討.
채용사빈자공천사법재재파편상제비료불동택우취향적ZnO박막.결과표명,천사공솔재100～380 W범위내제비적ZnO박막정(101)택우취향성,당공솔상승지550 W시,박막칙위(100)취향;기편온도승고유리우(002)면적생장,당기편온도위250℃시,재천사공솔위200 W시즉가제득(002)면택우취향적박막.열처리온도적제고유조우(100)화(101)면적택우취향,이대(002)면적취향불리.동시,해문대ZnO박막불동택우취향생장적궤제진행료탐토.
