真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
z1期
65-67
,共3页
卜忍安%金晶%左丰国%王文江%张劲涛
蔔忍安%金晶%左豐國%王文江%張勁濤
복인안%금정%좌봉국%왕문강%장경도
介质阻挡放电%紫外光源%单沟道放电
介質阻擋放電%紫外光源%單溝道放電
개질조당방전%자외광원%단구도방전
非相干紫外或真空紫外光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术.本文着重介绍了介质阻挡放电产生173 nm紫外光的原理,并设计制作了利用此方法获得173 nm真空紫外光的装置.试验结果表明,用石英玻璃作介质阻挡层,Xe气体作为放电气体,能够获得峰值波长为175 nm,半高宽为12 nm的窄带大面积真空紫外光,并对其输出光谱进行分析.
非相榦紫外或真空紫外光源的應用已成為衆多工業部門中一項基礎性和關鍵性的技術.本文著重介紹瞭介質阻擋放電產生173 nm紫外光的原理,併設計製作瞭利用此方法穫得173 nm真空紫外光的裝置.試驗結果錶明,用石英玻璃作介質阻擋層,Xe氣體作為放電氣體,能夠穫得峰值波長為175 nm,半高寬為12 nm的窄帶大麵積真空紫外光,併對其輸齣光譜進行分析.
비상간자외혹진공자외광원적응용이성위음다공업부문중일항기출성화관건성적기술.본문착중개소료개질조당방전산생173 nm자외광적원리,병설계제작료이용차방법획득173 nm진공자외광적장치.시험결과표명,용석영파리작개질조당층,Xe기체작위방전기체,능구획득봉치파장위175 nm,반고관위12 nm적착대대면적진공자외광,병대기수출광보진행분석.
