稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2008年
5期
918-921
,共4页
郑建华%冯文芳%周锦兰%田熙科%俞开潮
鄭建華%馮文芳%週錦蘭%田熙科%俞開潮
정건화%풍문방%주금란%전희과%유개조
聚酰亚胺%催化增强化学气相沉积%铂薄膜%钯-铂双层膜%表征
聚酰亞胺%催化增彊化學氣相沉積%鉑薄膜%鈀-鉑雙層膜%錶徵
취선아알%최화증강화학기상침적%박박막%파-박쌍층막%표정
以N2、O2作载气,采用催化增强化学气相沉积(CECVO)法,于250～300℃和减压/常压下制得沉积于聚酰亚胺(PI)上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金属双层薄膜.当使用Pd(hfac)2和Pt(COD)Me2为前驱体,在同一反应器内共沉积时只有Pt被沉积(钯配合物起催化剂作用),金属铂、钯顺序沉积可形成双层膜.经XPS和SEM分析了所得沉积膜的表面结构与相组成.结果表明:所有沉积层与PI衬底的粘附性能良好;沉积速率为70～80nm/h,钯、铂粒径分别为100nm和100～150nm.
以N2、O2作載氣,採用催化增彊化學氣相沉積(CECVO)法,于250～300℃和減壓/常壓下製得沉積于聚酰亞胺(PI)上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金屬雙層薄膜.噹使用Pd(hfac)2和Pt(COD)Me2為前驅體,在同一反應器內共沉積時隻有Pt被沉積(鈀配閤物起催化劑作用),金屬鉑、鈀順序沉積可形成雙層膜.經XPS和SEM分析瞭所得沉積膜的錶麵結構與相組成.結果錶明:所有沉積層與PI襯底的粘附性能良好;沉積速率為70～80nm/h,鈀、鉑粒徑分彆為100nm和100～150nm.
이N2、O2작재기,채용최화증강화학기상침적(CECVO)법,우250～300℃화감압/상압하제득침적우취선아알(PI)상적Pt,Pd/Pt화Pt/Pd금속쌍층박막.당사용Pd(hfac)2화Pt(COD)Me2위전구체,재동일반응기내공침적시지유Pt피침적(파배합물기최화제작용),금속박、파순서침적가형성쌍층막.경XPS화SEM분석료소득침적막적표면결구여상조성.결과표명:소유침적층여PI츤저적점부성능량호;침적속솔위70～80nm/h,파、박립경분별위100nm화100～150nm.
