表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2009年
3期
98-100
,共3页
AlN薄膜%溅射产额%蒙特卡罗模拟
AlN薄膜%濺射產額%矇特卡囉模擬
AlN박막%천사산액%몽특잡라모의
应用蒙特卡罗程序TRIM对Ar+轰击AIN的微观过程进行了模拟.对不同能量以及不同角度下Ar+轰击AlN引起的溅射产额进行了系统的研究.随着入射离子能量的逐渐增加,AlN的溅射产额呈上升趋势.AlN的溅射产额随入射角增加而逐渐升高,在75°左右达到峰值,超过75°后,溅射产额急剧下降.实验发现垂直入射时和斜入射时,Al和N两元素的分溅射产额的比值变化规律有着明显的不同.
應用矇特卡囉程序TRIM對Ar+轟擊AIN的微觀過程進行瞭模擬.對不同能量以及不同角度下Ar+轟擊AlN引起的濺射產額進行瞭繫統的研究.隨著入射離子能量的逐漸增加,AlN的濺射產額呈上升趨勢.AlN的濺射產額隨入射角增加而逐漸升高,在75°左右達到峰值,超過75°後,濺射產額急劇下降.實驗髮現垂直入射時和斜入射時,Al和N兩元素的分濺射產額的比值變化規律有著明顯的不同.
응용몽특잡라정서TRIM대Ar+굉격AIN적미관과정진행료모의.대불동능량이급불동각도하Ar+굉격AlN인기적천사산액진행료계통적연구.수착입사리자능량적축점증가,AlN적천사산액정상승추세.AlN적천사산액수입사각증가이축점승고,재75°좌우체도봉치,초과75°후,천사산액급극하강.실험발현수직입사시화사입사시,Al화N량원소적분천사산액적비치변화규률유착명현적불동.
