传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
4期
134-136
,共3页
邢星%朱玉田%吴强%黄海涛
邢星%硃玉田%吳彊%黃海濤
형성%주옥전%오강%황해도
拉伸测试%薄膜材料%力学性能%虚拟仪器
拉伸測試%薄膜材料%力學性能%虛擬儀器
랍신측시%박막재료%역학성능%허의의기
光致弯曲薄膜材料在微机电系统中有着巨大的应用前景,而材料基本物理参数的测试是重要的基础性工作.鉴于现有的薄膜材料拉伸测试机不能满足微尺度条件下的测试需要或者较为昂贵,设计出一种薄膜材料拉伸测试系统,能够精确均匀加载,并运用LabVIEW编程设计出拉伸测试虚拟仪器,实现数据采集、分析、处理和存储,以及控制信号输出.该系统具有分辨率高的优点,位移分辨率和力分辨率分别可达1μm和1mN,满足了微小尺度薄膜试验的需要.
光緻彎麯薄膜材料在微機電繫統中有著巨大的應用前景,而材料基本物理參數的測試是重要的基礎性工作.鑒于現有的薄膜材料拉伸測試機不能滿足微呎度條件下的測試需要或者較為昂貴,設計齣一種薄膜材料拉伸測試繫統,能夠精確均勻加載,併運用LabVIEW編程設計齣拉伸測試虛擬儀器,實現數據採集、分析、處理和存儲,以及控製信號輸齣.該繫統具有分辨率高的優點,位移分辨率和力分辨率分彆可達1μm和1mN,滿足瞭微小呎度薄膜試驗的需要.
광치만곡박막재료재미궤전계통중유착거대적응용전경,이재료기본물리삼수적측시시중요적기출성공작.감우현유적박막재료랍신측시궤불능만족미척도조건하적측시수요혹자교위앙귀,설계출일충박막재료랍신측시계통,능구정학균균가재,병운용LabVIEW편정설계출랍신측시허의의기,실현수거채집、분석、처리화존저,이급공제신호수출.해계통구유분변솔고적우점,위이분변솔화력분변솔분별가체1μm화1mN,만족료미소척도박막시험적수요.
