吉林大学学报（理学版）
吉林大學學報（理學版）
길림대학학보（이학판）
JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
2010年
6期
1027-1030
,共4页
王健%白亦真%张东%潘丽%柳浩%管昌雨%吴占玲%赵纪军
王健%白亦真%張東%潘麗%柳浩%管昌雨%吳佔玲%趙紀軍
왕건%백역진%장동%반려%류호%관창우%오점령%조기군
B-C-N薄膜%N2流量%傅里叶变换红外光谱%射频磁控溅射
B-C-N薄膜%N2流量%傅裏葉變換紅外光譜%射頻磁控濺射
B-C-N박막%N2류량%부리협변환홍외광보%사빈자공천사
采用射频磁控溅射方法, 分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶, 在氩气和氮气的氛围中, 沉积B-C-N薄膜. 傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析表明: 在1 200～1 800 cm-1和1 000～1 750 cm-1处出现了较宽的吸收峰;在2 200 cm-1处出现了 NC 键的特征吸收峰. 表明在沉积的薄膜中, C原子与N原子相结合. 分别溅射C和h-BN靶, 红外光谱分析表明, B-C键在1 100 cm-1处未产生吸收峰, 即利用h-BN和C靶沉积的B-C-N薄膜倾向于相分离, 利用B和C靶沉积的B-C-N薄膜中的原子实现了原子量级的化合.
採用射頻磁控濺射方法, 分彆利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶, 在氬氣和氮氣的氛圍中, 沉積B-C-N薄膜. 傅裏葉變換紅外光譜(FTIR)分析錶明: 在1 200～1 800 cm-1和1 000～1 750 cm-1處齣現瞭較寬的吸收峰;在2 200 cm-1處齣現瞭 NC 鍵的特徵吸收峰. 錶明在沉積的薄膜中, C原子與N原子相結閤. 分彆濺射C和h-BN靶, 紅外光譜分析錶明, B-C鍵在1 100 cm-1處未產生吸收峰, 即利用h-BN和C靶沉積的B-C-N薄膜傾嚮于相分離, 利用B和C靶沉積的B-C-N薄膜中的原子實現瞭原子量級的化閤.
채용사빈자공천사방법, 분별이용륙방담화붕(h-BN)、붕(B)화석묵(C)파, 재아기화담기적분위중, 침적B-C-N박막. 부리협변환홍외광보(FTIR)분석표명: 재1 200～1 800 cm-1화1 000～1 750 cm-1처출현료교관적흡수봉;재2 200 cm-1처출현료 NC 건적특정흡수봉. 표명재침적적박막중, C원자여N원자상결합. 분별천사C화h-BN파, 홍외광보분석표명, B-C건재1 100 cm-1처미산생흡수봉, 즉이용h-BN화C파침적적B-C-N박막경향우상분리, 이용B화C파침적적B-C-N박막중적원자실현료원자량급적화합.
