强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2010年
12期
2865-2870
,共6页
杨伟%李海波%张清华%马红菊%惠浩浩%刘志超%马平
楊偉%李海波%張清華%馬紅菊%惠浩浩%劉誌超%馬平
양위%리해파%장청화%마홍국%혜호호%류지초%마평
旋转涂膜%条纹缺陷%溶胶-凝胶%减反膜%含氟醇
鏇轉塗膜%條紋缺陷%溶膠-凝膠%減反膜%含氟醇
선전도막%조문결함%용효-응효%감반막%함불순
分析了采用旋转涂膜法制备溶胶-凝胶SiO2减反膜过程中条纹缺陷产生的机理,利用含氟醇类试剂对减反膜溶胶进行改性,使溶胶链段柔顺性及流动性得到改善.在光学显微镜下对改性前后的膜层进行了对比和分析,对膜层的表面形貌、表面粗糙度以及透射比等特性进行了表征.结果表明:溶胶改性之后的膜层未出现条纹缺陷,表面粗糙度均方根值从4.55 nm下降到小于1.00 nm,膜层表面质量有了较大提高;改性前后膜层的增透性能相当,在熔石英基片上制备的膜层峰值透射比为99.60%～99.89%,膜层激光损伤阈值为21.0～25.3 J/cm2.
分析瞭採用鏇轉塗膜法製備溶膠-凝膠SiO2減反膜過程中條紋缺陷產生的機理,利用含氟醇類試劑對減反膜溶膠進行改性,使溶膠鏈段柔順性及流動性得到改善.在光學顯微鏡下對改性前後的膜層進行瞭對比和分析,對膜層的錶麵形貌、錶麵粗糙度以及透射比等特性進行瞭錶徵.結果錶明:溶膠改性之後的膜層未齣現條紋缺陷,錶麵粗糙度均方根值從4.55 nm下降到小于1.00 nm,膜層錶麵質量有瞭較大提高;改性前後膜層的增透性能相噹,在鎔石英基片上製備的膜層峰值透射比為99.60%～99.89%,膜層激光損傷閾值為21.0～25.3 J/cm2.
분석료채용선전도막법제비용효-응효SiO2감반막과정중조문결함산생적궤리,이용함불순류시제대감반막용효진행개성,사용효련단유순성급류동성득도개선.재광학현미경하대개성전후적막층진행료대비화분석,대막층적표면형모、표면조조도이급투사비등특성진행료표정.결과표명:용효개성지후적막층미출현조문결함,표면조조도균방근치종4.55 nm하강도소우1.00 nm,막층표면질량유료교대제고;개성전후막층적증투성능상당,재용석영기편상제비적막층봉치투사비위99.60%～99.89%,막층격광손상역치위21.0～25.3 J/cm2.
