微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
477-480
,共4页
王皓%姚汉民%杜春雷%焦玉中
王皓%姚漢民%杜春雷%焦玉中
왕호%요한민%두춘뢰%초옥중
微机电系统%驱动器%微细加工%振动%压电陶瓷
微機電繫統%驅動器%微細加工%振動%壓電陶瓷
미궤전계통%구동기%미세가공%진동%압전도자
研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合,从而驱动微运动件.重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点,介绍国外代表性研究结果,并提出对该方法进一步研究的观点与设想.
研究MEMS微結構的片外機械式驅動問題,介紹瞭在MEMS硅芯片揹麵貼閤一塊宏觀呎度PZT片的驅動思想即PZT產生機械運動,在硅固定件與微運動件之間產生動量耦閤,從而驅動微運動件.重點探討脈遲驅動、振動驅動兩大類基本驅動方法及其特點,介紹國外代錶性研究結果,併提齣對該方法進一步研究的觀點與設想.
연구MEMS미결구적편외궤계식구동문제,개소료재MEMS규심편배면첩합일괴굉관척도PZT편적구동사상즉PZT산생궤계운동,재규고정건여미운동건지간산생동량우합,종이구동미운동건.중점탐토맥충구동、진동구동량대류기본구동방법급기특점,개소국외대표성연구결과,병제출대해방법진일보연구적관점여설상.
