传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2005年
6期
29-31
,共3页
高燕%李健%吉雅图%韩菲
高燕%李健%吉雅圖%韓菲
고연%리건%길아도%한비
纳米%真空气相沉积%气敏特性%SnO2薄膜%Nd掺杂
納米%真空氣相沉積%氣敏特性%SnO2薄膜%Nd摻雜
납미%진공기상침적%기민특성%SnO2박막%Nd참잡
用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纯SnO2和掺稀土Nd的SnO2薄膜,在500℃氧气气氛条件下进行45min热处理,获得良好的纳米SnO2薄膜和掺稀土Nd的SnO2薄膜.结果显示:掺Nd和热处理使纳米SnO2薄膜的结构、导电性能得到一定的改善.掺Nd 5%的SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善,其中,对丁烷的选择性、灵敏度最好,在体积分数为7.2×10-3时,灵敏度可达到340,但对乙醇、丙酮气体的敏感性较差.
用真空氣相沉積法在玻璃襯底上製備純SnO2和摻稀土Nd的SnO2薄膜,在500℃氧氣氣氛條件下進行45min熱處理,穫得良好的納米SnO2薄膜和摻稀土Nd的SnO2薄膜.結果顯示:摻Nd和熱處理使納米SnO2薄膜的結構、導電性能得到一定的改善.摻Nd 5%的SnO2薄膜對氣體的選擇性和靈敏性均得到明顯的改善,其中,對丁烷的選擇性、靈敏度最好,在體積分數為7.2×10-3時,靈敏度可達到340,但對乙醇、丙酮氣體的敏感性較差.
용진공기상침적법재파리츤저상제비순SnO2화참희토Nd적SnO2박막,재500℃양기기분조건하진행45min열처리,획득량호적납미SnO2박막화참희토Nd적SnO2박막.결과현시:참Nd화열처리사납미SnO2박막적결구、도전성능득도일정적개선.참Nd 5%적SnO2박막대기체적선택성화령민성균득도명현적개선,기중,대정완적선택성、령민도최호,재체적분수위7.2×10-3시,령민도가체도340,단대을순、병동기체적민감성교차.
