天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
12期
1391-1396
,共6页
李志国%姚素英%肖夏%白茂森
李誌國%姚素英%肖夏%白茂森
리지국%요소영%초하%백무삼
声表面波测试%纳米多孔低介电常数材料%各向异性模型
聲錶麵波測試%納米多孔低介電常數材料%各嚮異性模型
성표면파측시%납미다공저개전상수재료%각향이성모형
声表面波技术可无损测量纳米多孔介电薄膜材料的机械特性参数.采用横观各向同性模型表征二维周期性多孔薄膜的结构特性,推导了表面波在周期性纳米多孔薄膜/硅基底结构中的传播模型.通过编程计算数值算例,得到了薄膜各向异性结构特性及弹性模量对表面波色散曲线的影响.结果表明,纳米通孔方向与传播方向间的角度差会对色散曲线产生明显影响,在垂直于通孔的传播方向不能测出弹性模量 E'. 最后给出了有助于改善测量精度的措施.此模型可用于纳米多孔低介电常数材料各向异性特性测试实验.
聲錶麵波技術可無損測量納米多孔介電薄膜材料的機械特性參數.採用橫觀各嚮同性模型錶徵二維週期性多孔薄膜的結構特性,推導瞭錶麵波在週期性納米多孔薄膜/硅基底結構中的傳播模型.通過編程計算數值算例,得到瞭薄膜各嚮異性結構特性及彈性模量對錶麵波色散麯線的影響.結果錶明,納米通孔方嚮與傳播方嚮間的角度差會對色散麯線產生明顯影響,在垂直于通孔的傳播方嚮不能測齣彈性模量 E'. 最後給齣瞭有助于改善測量精度的措施.此模型可用于納米多孔低介電常數材料各嚮異性特性測試實驗.
성표면파기술가무손측량납미다공개전박막재료적궤계특성삼수.채용횡관각향동성모형표정이유주기성다공박막적결구특성,추도료표면파재주기성납미다공박막/규기저결구중적전파모형.통과편정계산수치산례,득도료박막각향이성결구특성급탄성모량대표면파색산곡선적영향.결과표명,납미통공방향여전파방향간적각도차회대색산곡선산생명현영향,재수직우통공적전파방향불능측출탄성모량 E'. 최후급출료유조우개선측량정도적조시.차모형가용우납미다공저개전상수재료각향이성특성측시실험.
