化工科技
化工科技
화공과기
SCIENCE & TECHNOLOGY IN CHEMICAL INDUSY
2008年
2期
60-64
,共5页
掺杂ZnO薄膜%制备工艺%性能
摻雜ZnO薄膜%製備工藝%性能
참잡ZnO박막%제비공예%성능
ZnO薄膜是一种Ⅱ～Ⅵ族的宽禁带半导体材料,具有优异的物理化学性能.通过对薄膜的掺杂,可以改善其性能或赋予其新的性能.使其应用更加广泛.作者综述了ZnO薄膜的制备方法,比较了各种制备方法的优缺点,重点探讨了ZnO及其掺杂薄膜在压电、光电、气敏及磁性能方面的研究,并对今后的研究方向进行了展望.
ZnO薄膜是一種Ⅱ～Ⅵ族的寬禁帶半導體材料,具有優異的物理化學性能.通過對薄膜的摻雜,可以改善其性能或賦予其新的性能.使其應用更加廣汎.作者綜述瞭ZnO薄膜的製備方法,比較瞭各種製備方法的優缺點,重點探討瞭ZnO及其摻雜薄膜在壓電、光電、氣敏及磁性能方麵的研究,併對今後的研究方嚮進行瞭展望.
ZnO박막시일충Ⅱ～Ⅵ족적관금대반도체재료,구유우이적물이화학성능.통과대박막적참잡,가이개선기성능혹부여기신적성능.사기응용경가엄범.작자종술료ZnO박막적제비방법,비교료각충제비방법적우결점,중점탐토료ZnO급기참잡박막재압전、광전、기민급자성능방면적연구,병대금후적연구방향진행료전망.
