传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2009年
3期
331-336
,共6页
陈金丹%董林玺%颜海霞%霍卫红%李永杰%孙玲玲
陳金丹%董林璽%顏海霞%霍衛紅%李永傑%孫玲玲
진금단%동림새%안해하%곽위홍%리영걸%손령령
MEMS%高精度微传感器%阶跃响应分析%倾斜梳齿
MEMS%高精度微傳感器%階躍響應分析%傾斜梳齒
MEMS%고정도미전감기%계약향응분석%경사소치
一种新型变电容面积MEMS惯性传感器与传统的梳齿电容传感器相比,具有对梳齿电容不平行敏感度低,可加测试电压高等优点.通过对该传感器在低真空封装条件下的惯性阶跃响应特性分析,着重研究了不同梳齿电容倾斜角度对该传感器的阶跃惯性信号响应的影响,以及不同倾斜角度梳齿的位移响应和测试电压、空气真空度的关系,并把该结果和梳齿结构的情况进行比较.结果表明,工艺因素对变电容面积MEMS惯性传感器在低真空封装下的阶跃惯性响应影响很小;另外,该结构上可加的测试电压可以是梳齿电容结构上可加测试电压的近10倍,这有利于减小接口电路的噪声.以上分析论证了该新型传感器有利于降低器件的工艺要求和提高传感器的分辨率.
一種新型變電容麵積MEMS慣性傳感器與傳統的梳齒電容傳感器相比,具有對梳齒電容不平行敏感度低,可加測試電壓高等優點.通過對該傳感器在低真空封裝條件下的慣性階躍響應特性分析,著重研究瞭不同梳齒電容傾斜角度對該傳感器的階躍慣性信號響應的影響,以及不同傾斜角度梳齒的位移響應和測試電壓、空氣真空度的關繫,併把該結果和梳齒結構的情況進行比較.結果錶明,工藝因素對變電容麵積MEMS慣性傳感器在低真空封裝下的階躍慣性響應影響很小;另外,該結構上可加的測試電壓可以是梳齒電容結構上可加測試電壓的近10倍,這有利于減小接口電路的譟聲.以上分析論證瞭該新型傳感器有利于降低器件的工藝要求和提高傳感器的分辨率.
일충신형변전용면적MEMS관성전감기여전통적소치전용전감기상비,구유대소치전용불평행민감도저,가가측시전압고등우점.통과대해전감기재저진공봉장조건하적관성계약향응특성분석,착중연구료불동소치전용경사각도대해전감기적계약관성신호향응적영향,이급불동경사각도소치적위이향응화측시전압、공기진공도적관계,병파해결과화소치결구적정황진행비교.결과표명,공예인소대변전용면적MEMS관성전감기재저진공봉장하적계약관성향응영향흔소;령외,해결구상가가적측시전압가이시소치전용결구상가가측시전압적근10배,저유리우감소접구전로적조성.이상분석론증료해신형전감기유리우강저기건적공예요구화제고전감기적분변솔.
