人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
4期
838-842
,共5页
舒谊%周林%戴一帆%沈永祥%解旭辉%李圣怡
舒誼%週林%戴一帆%瀋永祥%解旭輝%李聖怡
서의%주림%대일범%침영상%해욱휘%리골이
KDP晶体%离子束抛光%表面粗糙度
KDP晶體%離子束拋光%錶麵粗糙度
KDP정체%리자속포광%표면조조도
为了避免传统加工过程对KDP( Potassium dihydrogen phosphate)晶体表面产生损伤、嵌入杂质等降低晶体抗激光损伤阈值的不利因素,文章探索采用离子束抛光技术实现KDP晶体的加工.本文主要分析了离子束抛光作用下KDP晶体表面粗糙度的演变过程,采用垂直入射和倾斜45°入射两种方式研究KDP晶体表面粗糙度,利用倾斜45°入射的加工方式提高了KDP晶体的表面质量,其表面均方根粗糙度值由初始的3.07 nm减小到了1.95 nm,实验结果验证了离子束抛光加工KDP晶体的可行性.
為瞭避免傳統加工過程對KDP( Potassium dihydrogen phosphate)晶體錶麵產生損傷、嵌入雜質等降低晶體抗激光損傷閾值的不利因素,文章探索採用離子束拋光技術實現KDP晶體的加工.本文主要分析瞭離子束拋光作用下KDP晶體錶麵粗糙度的縯變過程,採用垂直入射和傾斜45°入射兩種方式研究KDP晶體錶麵粗糙度,利用傾斜45°入射的加工方式提高瞭KDP晶體的錶麵質量,其錶麵均方根粗糙度值由初始的3.07 nm減小到瞭1.95 nm,實驗結果驗證瞭離子束拋光加工KDP晶體的可行性.
위료피면전통가공과정대KDP( Potassium dihydrogen phosphate)정체표면산생손상、감입잡질등강저정체항격광손상역치적불리인소,문장탐색채용리자속포광기술실현KDP정체적가공.본문주요분석료리자속포광작용하KDP정체표면조조도적연변과정,채용수직입사화경사45°입사량충방식연구KDP정체표면조조도,이용경사45°입사적가공방식제고료KDP정체적표면질량,기표면균방근조조도치유초시적3.07 nm감소도료1.95 nm,실험결과험증료리자속포광가공KDP정체적가행성.
