计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2012年
2期
11-14,25
,共5页
高均匀扫描电机%不平行度%动态测量%位置敏感传感器
高均勻掃描電機%不平行度%動態測量%位置敏感傳感器
고균균소묘전궤%불평행도%동태측량%위치민감전감기
为了解决高均匀扫描电机转动轴位置未知时与反射镜面不平行度的测量问题,提出了一种动态的光电测量方法；在激光测量光路中,利用扫描电机在位置敏感传感器(PSD)上的扫描曲线,并根据光学成像原理和扫描曲线的外形特征,设计了一个光学实验系统；利用实验方法建立了轴面俯仰角度与扫描曲线形状的关系式,最后对扫描电机轴面不平行度的特性进行了测试分析.实验表明,此种测量方法能够很好地解决动态测量扫描电机轴面不平行度的问题.
為瞭解決高均勻掃描電機轉動軸位置未知時與反射鏡麵不平行度的測量問題,提齣瞭一種動態的光電測量方法；在激光測量光路中,利用掃描電機在位置敏感傳感器(PSD)上的掃描麯線,併根據光學成像原理和掃描麯線的外形特徵,設計瞭一箇光學實驗繫統；利用實驗方法建立瞭軸麵俯仰角度與掃描麯線形狀的關繫式,最後對掃描電機軸麵不平行度的特性進行瞭測試分析.實驗錶明,此種測量方法能夠很好地解決動態測量掃描電機軸麵不平行度的問題.
위료해결고균균소묘전궤전동축위치미지시여반사경면불평행도적측량문제,제출료일충동태적광전측량방법；재격광측량광로중,이용소묘전궤재위치민감전감기(PSD)상적소묘곡선,병근거광학성상원리화소묘곡선적외형특정,설계료일개광학실험계통；이용실험방법건립료축면부앙각도여소묘곡선형상적관계식,최후대소묘전궤축면불평행도적특성진행료측시분석.실험표명,차충측량방법능구흔호지해결동태측량소묘전궤축면불평행도적문제.
