硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2005年
5期
553-558
,共6页
张君%赵青南%陈甲林%赵修建
張君%趙青南%陳甲林%趙脩建
장군%조청남%진갑림%조수건
锑掺杂二氧化锡薄膜%钠钙硅玻璃基片%热处理温度%溶胶-凝胶
銻摻雜二氧化錫薄膜%鈉鈣硅玻璃基片%熱處理溫度%溶膠-凝膠
제참잡이양화석박막%납개규파리기편%열처리온도%용효-응효
用溶胶-凝胶法在已镀SiO2膜的钠钙硅玻璃和没有镀SiO2的钠钙硅玻璃基片上镀制了锑掺杂摩尔分数为8.0%的二氧化锡薄膜.对不同热处理温度下薄膜样品的结构和性能进行了表征.结果表明:在673～823 K范围内热处理60 min时,薄膜以四方相金红石结构存在;随着热处理温度的提高,晶面衍射峰由宽化趋向尖锐,结晶逐渐完善;薄膜中的Sn以+4价的形式存在,掺杂的Sb以+5和+3价形式存在;当温度为673 K和723 K时,凝胶中的C没有完全燃尽,以C-O和C=O形式存在于薄膜中.镀膜样品的可见光平均透过率随热处理温度的升高而增大;在热处理温度相同时,预先镀有SiO2膜的玻璃基片上制备的锑掺杂二氧化锡(ATO)薄膜的方块电阻较没有镀SiO2的小.
用溶膠-凝膠法在已鍍SiO2膜的鈉鈣硅玻璃和沒有鍍SiO2的鈉鈣硅玻璃基片上鍍製瞭銻摻雜摩爾分數為8.0%的二氧化錫薄膜.對不同熱處理溫度下薄膜樣品的結構和性能進行瞭錶徵.結果錶明:在673～823 K範圍內熱處理60 min時,薄膜以四方相金紅石結構存在;隨著熱處理溫度的提高,晶麵衍射峰由寬化趨嚮尖銳,結晶逐漸完善;薄膜中的Sn以+4價的形式存在,摻雜的Sb以+5和+3價形式存在;噹溫度為673 K和723 K時,凝膠中的C沒有完全燃儘,以C-O和C=O形式存在于薄膜中.鍍膜樣品的可見光平均透過率隨熱處理溫度的升高而增大;在熱處理溫度相同時,預先鍍有SiO2膜的玻璃基片上製備的銻摻雜二氧化錫(ATO)薄膜的方塊電阻較沒有鍍SiO2的小.
용용효-응효법재이도SiO2막적납개규파리화몰유도SiO2적납개규파리기편상도제료제참잡마이분수위8.0%적이양화석박막.대불동열처리온도하박막양품적결구화성능진행료표정.결과표명:재673～823 K범위내열처리60 min시,박막이사방상금홍석결구존재;수착열처리온도적제고,정면연사봉유관화추향첨예,결정축점완선;박막중적Sn이+4개적형식존재,참잡적Sb이+5화+3개형식존재;당온도위673 K화723 K시,응효중적C몰유완전연진,이C-O화C=O형식존재우박막중.도막양품적가견광평균투과솔수열처리온도적승고이증대;재열처리온도상동시,예선도유SiO2막적파리기편상제비적제참잡이양화석(ATO)박막적방괴전조교몰유도SiO2적소.
