物理学报
物理學報
물이학보
2006年
5期
2234-2240
,共7页
阮勇%郇勇%张大成%张泰华%王阳元
阮勇%郇勇%張大成%張泰華%王暘元
원용%순용%장대성%장태화%왕양원
阳极键合%硅深刻蚀%键合强度%最大抗扭强度
暘極鍵閤%硅深刻蝕%鍵閤彊度%最大抗扭彊度
양겁건합%규심각식%건합강도%최대항뉴강도
提出了一种新型的测试结构,对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试.实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力,键合面为常用的矩形其边长从6μm到120μm,并根据实际移动距离计算得出的最大剪切力.并实验实际得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线,以及最大扭转剪切破坏应力与悬臂梁加载距离的关系,并针对60μm×60μm的矩形键合结构进行了加载和位移的重复性实验测量,两次测量结果符合较好.微电子机械系统(microelectromechanical system,MEMS)器件的设计人员可以根据结论曲线,针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积,为MEMS器件工艺的在线定量测试与设计提供参考.
提齣瞭一種新型的測試結構,對麵積為微米量級下鍵閤的最大抗扭彊度進行瞭測試.實驗設計一繫列的單晶硅懸臂樑結構測試鍵閤麵積在微米量級時的最大剪切力,鍵閤麵為常用的矩形其邊長從6μm到120μm,併根據實際移動距離計算得齣的最大剪切力.併實驗實際得齣最大剪切扭矩和相應的鍵閤麵積的麯線,以及最大扭轉剪切破壞應力與懸臂樑加載距離的關繫,併針對60μm×60μm的矩形鍵閤結構進行瞭加載和位移的重複性實驗測量,兩次測量結果符閤較好.微電子機械繫統(microelectromechanical system,MEMS)器件的設計人員可以根據結論麯線,針對所需的抗扭彊度設計相應的鍵閤麵積,為MEMS器件工藝的在線定量測試與設計提供參攷.
제출료일충신형적측시결구,대면적위미미량급하건합적최대항뉴강도진행료측시.실험설계일계렬적단정규현비량결구측시건합면적재미미량급시적최대전절력,건합면위상용적구형기변장종6μm도120μm,병근거실제이동거리계산득출적최대전절력.병실험실제득출최대전절뉴구화상응적건합면적적곡선,이급최대뉴전전절파배응력여현비량가재거리적관계,병침대60μm×60μm적구형건합결구진행료가재화위이적중복성실험측량,량차측량결과부합교호.미전자궤계계통(microelectromechanical system,MEMS)기건적설계인원가이근거결론곡선,침대소수적항뉴강도설계상응적건합면적,위MEMS기건공예적재선정량측시여설계제공삼고.
