润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2008年
1期
1-4
,共4页
董云开%张向军%刘莹%温诗铸
董雲開%張嚮軍%劉瑩%溫詩鑄
동운개%장향군%류형%온시주
摩擦力%表面形貌%滑动速度
摩抆力%錶麵形貌%滑動速度
마찰력%표면형모%활동속도
微机电系统(MEMS)可动部件间的摩擦特性是影响其性能和可靠性的重要因素之一.为了研究微机械构件间的摩擦行为,设计了一种面-面接触的应变式微摩擦测试仪,以模拟MEMS器件的真实工况.研究了不同微米级条纹形貌硅试样的摩擦特性,结果表明,微尺度下速度对摩擦因数有很大影响;形貌参数存在优选值以有效减少速度的影响和摩擦因数等.
微機電繫統(MEMS)可動部件間的摩抆特性是影響其性能和可靠性的重要因素之一.為瞭研究微機械構件間的摩抆行為,設計瞭一種麵-麵接觸的應變式微摩抆測試儀,以模擬MEMS器件的真實工況.研究瞭不同微米級條紋形貌硅試樣的摩抆特性,結果錶明,微呎度下速度對摩抆因數有很大影響;形貌參數存在優選值以有效減少速度的影響和摩抆因數等.
미궤전계통(MEMS)가동부건간적마찰특성시영향기성능화가고성적중요인소지일.위료연구미궤계구건간적마찰행위,설계료일충면-면접촉적응변식미마찰측시의,이모의MEMS기건적진실공황.연구료불동미미급조문형모규시양적마찰특성,결과표명,미척도하속도대마찰인수유흔대영향;형모삼수존재우선치이유효감소속도적영향화마찰인수등.
