电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2010年
7期
1580-1584
,共5页
傅健%王宏钧%李斌%江柏红
傅健%王宏鈞%李斌%江柏紅
부건%왕굉균%리빈%강백홍
层析成像%薄板层析成像%代数重建技术%投影凸集%板壳状微电子器件
層析成像%薄闆層析成像%代數重建技術%投影凸集%闆殼狀微電子器件
층석성상%박판층석성상%대수중건기술%투영철집%판각상미전자기건
传统工业CT(industrial computed tomography,ICT)成像方法受扫描原理和探测器、射线源等硬件条件的限制,难以对芯片、印刷电路板等板、壳状微电子器件实施有效的数字层析成像检测.为此,讨论了一种基于锥束射线倾斜扫描和代数重建技术(Algebraic Reconstruction Technique,ART)的薄板层析成像(Computed Laminography,CL)方法,研究了其基于投影凸集理论的投影预处理方法及基于不同区域相似性的重建图像非局部平均降噪后处理方法,建立了基于非晶硅面阵探测器的实验系统,并完成了CPU芯片和印刷电路板的CL成像.实验结果证明了该方法的正确性.
傳統工業CT(industrial computed tomography,ICT)成像方法受掃描原理和探測器、射線源等硬件條件的限製,難以對芯片、印刷電路闆等闆、殼狀微電子器件實施有效的數字層析成像檢測.為此,討論瞭一種基于錐束射線傾斜掃描和代數重建技術(Algebraic Reconstruction Technique,ART)的薄闆層析成像(Computed Laminography,CL)方法,研究瞭其基于投影凸集理論的投影預處理方法及基于不同區域相似性的重建圖像非跼部平均降譟後處理方法,建立瞭基于非晶硅麵陣探測器的實驗繫統,併完成瞭CPU芯片和印刷電路闆的CL成像.實驗結果證明瞭該方法的正確性.
전통공업CT(industrial computed tomography,ICT)성상방법수소묘원리화탐측기、사선원등경건조건적한제,난이대심편、인쇄전로판등판、각상미전자기건실시유효적수자층석성상검측.위차,토론료일충기우추속사선경사소묘화대수중건기술(Algebraic Reconstruction Technique,ART)적박판층석성상(Computed Laminography,CL)방법,연구료기기우투영철집이론적투영예처리방법급기우불동구역상사성적중건도상비국부평균강조후처리방법,건립료기우비정규면진탐측기적실험계통,병완성료CPU심편화인쇄전로판적CL성상.실험결과증명료해방법적정학성.
