河北理工大学学报(自然科学版)
河北理工大學學報(自然科學版)
하북리공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF HEBEI POLYTECHNIC UNIVERSITY(Natural Science Edition)
2010年
3期
51-55
,共5页
MEMS技术%微型热泵%微细加工技术%微型化
MEMS技術%微型熱泵%微細加工技術%微型化
MEMS기술%미형열빙%미세가공기술%미형화
微型热泵是指特征尺寸为"厘米级"的热泵,可用于建筑物、交通工具、衣服或其它装置的供暖或制冷.微电子机械系统(MEMS)的迅速发展,使过程机械装置的微型化和轻量化成为可能,将MEMS技术应用于热泵,其体积和传统装置相比可以缩小到60倍以上.对几种微制造技术进行了比较,并介绍了MEMS技术在微型热泵中的应用.
微型熱泵是指特徵呎吋為"釐米級"的熱泵,可用于建築物、交通工具、衣服或其它裝置的供暖或製冷.微電子機械繫統(MEMS)的迅速髮展,使過程機械裝置的微型化和輕量化成為可能,將MEMS技術應用于熱泵,其體積和傳統裝置相比可以縮小到60倍以上.對幾種微製造技術進行瞭比較,併介紹瞭MEMS技術在微型熱泵中的應用.
미형열빙시지특정척촌위"전미급"적열빙,가용우건축물、교통공구、의복혹기타장치적공난혹제랭.미전자궤계계통(MEMS)적신속발전,사과정궤계장치적미형화화경양화성위가능,장MEMS기술응용우열빙,기체적화전통장치상비가이축소도60배이상.대궤충미제조기술진행료비교,병개소료MEMS기술재미형열빙중적응용.
