光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
1期
41-50
,共10页
光学加工%多模式组合抛光%非球面%材料去除
光學加工%多模式組閤拋光%非毬麵%材料去除
광학가공%다모식조합포광%비구면%재료거제
介绍了将经典抛光方法与数控加工技术有机结合的多模式组合抛光技术.描述了多模式组合抛光的关键技术之一,材料去除率仿真模型的建立方法.通过设置抛光盘因子和元件因子,多模式组合抛光的材料去除模型不仅包含抛光模式、速度等加工参数,还将抛光模形状、边角效应、元件面形误差等因素对材料去除的影响一并考虑入内,可以根据抛光阶段的不同,选择不同的仿真精度.实验发现,多模式组合抛光可以显著提高加工效率,并且具有较好的对中频误差的抑制和修正能力.多模式组合抛光目前的应用水平大致为球面、平面元件的面形误差达到20 nm(rms),非球面元件的面形误差达到30～40 nm(rms)左右.结果表明,多模式组合抛光在大口径元件的光学加工方面具有较强的适用性和很大的发展空间.
介紹瞭將經典拋光方法與數控加工技術有機結閤的多模式組閤拋光技術.描述瞭多模式組閤拋光的關鍵技術之一,材料去除率倣真模型的建立方法.通過設置拋光盤因子和元件因子,多模式組閤拋光的材料去除模型不僅包含拋光模式、速度等加工參數,還將拋光模形狀、邊角效應、元件麵形誤差等因素對材料去除的影響一併攷慮入內,可以根據拋光階段的不同,選擇不同的倣真精度.實驗髮現,多模式組閤拋光可以顯著提高加工效率,併且具有較好的對中頻誤差的抑製和脩正能力.多模式組閤拋光目前的應用水平大緻為毬麵、平麵元件的麵形誤差達到20 nm(rms),非毬麵元件的麵形誤差達到30～40 nm(rms)左右.結果錶明,多模式組閤拋光在大口徑元件的光學加工方麵具有較彊的適用性和很大的髮展空間.
개소료장경전포광방법여수공가공기술유궤결합적다모식조합포광기술.묘술료다모식조합포광적관건기술지일,재료거제솔방진모형적건립방법.통과설치포광반인자화원건인자,다모식조합포광적재료거제모형불부포함포광모식、속도등가공삼수,환장포광모형상、변각효응、원건면형오차등인소대재료거제적영향일병고필입내,가이근거포광계단적불동,선택불동적방진정도.실험발현,다모식조합포광가이현저제고가공효솔,병차구유교호적대중빈오차적억제화수정능력.다모식조합포광목전적응용수평대치위구면、평면원건적면형오차체도20 nm(rms),비구면원건적면형오차체도30～40 nm(rms)좌우.결과표명,다모식조합포광재대구경원건적광학가공방면구유교강적괄용성화흔대적발전공간.
