传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
2期
116-118,121
,共4页
刘翔%高安然%李铁%周萍%王跃林
劉翔%高安然%李鐵%週萍%王躍林
류상%고안연%리철%주평%왕약림
微流控%液滴%静电驱动%共平面电极
微流控%液滴%靜電驅動%共平麵電極
미류공%액적%정전구동%공평면전겁
为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片.介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台.芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列,高质量Si3N4作介质层,碳氟聚合物为疏水层.实验表明:微液滴可在芯片上按程序设定方式在二维平面内流畅运动,最小驱动电压为15 V,最大运动速度达96 mm/s.芯片制作工艺简单,操作方便,可应用于生化分析芯片实验室系统.
為瞭精確操控微流體,設計併製作瞭一種基于靜電力的微液滴驅動芯片.介紹瞭驅動原理和工藝流程,搭建瞭驅動檢測實驗平檯.芯片採用開放式的結構,隻需單層共平麵控製電極,以硅作襯底,氧化硅和多晶硅作絕緣層,重摻雜多晶硅為驅動電極陣列,高質量Si3N4作介質層,碳氟聚閤物為疏水層.實驗錶明:微液滴可在芯片上按程序設定方式在二維平麵內流暢運動,最小驅動電壓為15 V,最大運動速度達96 mm/s.芯片製作工藝簡單,操作方便,可應用于生化分析芯片實驗室繫統.
위료정학조공미류체,설계병제작료일충기우정전력적미액적구동심편.개소료구동원리화공예류정,탑건료구동검측실험평태.심편채용개방식적결구,지수단층공평면공제전겁,이규작츤저,양화규화다정규작절연층,중참잡다정규위구동전겁진렬,고질량Si3N4작개질층,탄불취합물위소수층.실험표명:미액적가재심편상안정서설정방식재이유평면내류창운동,최소구동전압위15 V,최대운동속도체96 mm/s.심편제작공예간단,조작방편,가응용우생화분석심편실험실계통.
