真空
真空
진공
VACUUM
2011年
2期
28-32
,共5页
车晓舟%尹云飞%马洪涛%刘凡新
車曉舟%尹雲飛%馬洪濤%劉凡新
차효주%윤운비%마홍도%류범신
真空阴极过滤电弧%类金刚石薄膜%结构
真空陰極過濾電弧%類金剛石薄膜%結構
진공음겁과려전호%류금강석박막%결구
用真空阴极过滤电弧(Filtered Cathode Vacuum Are,FCVA)法制备厚度分别为50 nm,30 nm,10 nm,5 nm,2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,利用托曼光谱和电子能量损失谱研究了薄膜的结构,分析了硬度和内应力的变化趋势.结果表明,随着薄膜厚度的减小,可见光拉曼光谱高斯分解的G峰位置向低波数方向移动,D峰和G峰强度之比Id/Ig不断增大,G峰面积与D峰面积之比Ag/Ad减小;说明随着薄膜厚度的减小,DLC薄膜中的sp3键含量减少,有序化的sp3团簇增加.电子能量损失谱的结果也表明薄膜厚度的减小会引起薄膜中sp3键含量的减少.当薄膜的厚度由50 nm变为30 nm时,薄膜硬度由53.85 GPa减小为39.64 GPa,内应力由4.63 GPa降低为3.47 GPa,随着厚度降低,薄膜的硬度和内应力呈下降趋势.
用真空陰極過濾電弧(Filtered Cathode Vacuum Are,FCVA)法製備厚度分彆為50 nm,30 nm,10 nm,5 nm,2 nm的類金剛石(DLC)薄膜,利用託曼光譜和電子能量損失譜研究瞭薄膜的結構,分析瞭硬度和內應力的變化趨勢.結果錶明,隨著薄膜厚度的減小,可見光拉曼光譜高斯分解的G峰位置嚮低波數方嚮移動,D峰和G峰彊度之比Id/Ig不斷增大,G峰麵積與D峰麵積之比Ag/Ad減小;說明隨著薄膜厚度的減小,DLC薄膜中的sp3鍵含量減少,有序化的sp3糰簇增加.電子能量損失譜的結果也錶明薄膜厚度的減小會引起薄膜中sp3鍵含量的減少.噹薄膜的厚度由50 nm變為30 nm時,薄膜硬度由53.85 GPa減小為39.64 GPa,內應力由4.63 GPa降低為3.47 GPa,隨著厚度降低,薄膜的硬度和內應力呈下降趨勢.
용진공음겁과려전호(Filtered Cathode Vacuum Are,FCVA)법제비후도분별위50 nm,30 nm,10 nm,5 nm,2 nm적류금강석(DLC)박막,이용탁만광보화전자능량손실보연구료박막적결구,분석료경도화내응력적변화추세.결과표명,수착박막후도적감소,가견광랍만광보고사분해적G봉위치향저파수방향이동,D봉화G봉강도지비Id/Ig불단증대,G봉면적여D봉면적지비Ag/Ad감소;설명수착박막후도적감소,DLC박막중적sp3건함량감소,유서화적sp3단족증가.전자능량손실보적결과야표명박막후도적감소회인기박막중sp3건함량적감소.당박막적후도유50 nm변위30 nm시,박막경도유53.85 GPa감소위39.64 GPa,내응력유4.63 GPa강저위3.47 GPa,수착후도강저,박막적경도화내응력정하강추세.
