天然锗纳米晶的制备与中子嬗变掺杂研究
천연타납미정적제비여중자선변참잡연구
The preparation of natural Ge nanocrystals in SiO2 film and neutron transmutation doping
  • 万方数据
    四川大学学报（自然科学版） 사천대학학보（자연과학판）
    JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
    2011年 3期 651-654 ,共4页

    范立伟%卢铁城%敦少博%胡又文%陈青云%胡强%游草风%张松宝%唐彬%代君龙

    범립위%로철성%돈소박%호우문%진청운%호강%유초풍%장송보%당빈%대군룡

    天然Ge纳米晶%中子嬗变掺杂%拉曼光谱%X射线荧光光谱 天然Ge納米晶%中子嬗變摻雜%拉曼光譜%X射線熒光光譜
    천연Ge납미정%중자선변참잡%랍만광보%X사선형광광보
    采用离子注入法及退火工艺,在硅基二氧化硅薄膜中制备了镶嵌结构的天然Ge纳米晶样品.通过退火实验研究,发现随着退火温度的升高,纳米晶的晶态峰峰位红移,这意味着Ge纳米晶受到的应力减小.当退火温度达到700℃时,纳米晶的晶态峰强度显著增强,而且薄膜中与Ge有关的缺陷发光减弱.采用中子嬗变掺杂法对天然Ge纳米晶进行了掺杂,X射线荧光光谱数据表明,样品中成功的引入了Ga杂质和As杂质.薄膜中形成的与Ge有关的缺陷具有稳定的结构,中子辐照之后其发光仍然存在,而且,掺杂后的样品中没有发现与Ga或As有关的缺陷发光.
    채용리자주입법급퇴화공예,재규기이양화규박막중제비료양감결구적천연Ge납미정양품.통과퇴화실험연구,발현수착퇴화온도적승고,납미정적정태봉봉위홍이,저의미착Ge납미정수도적응력감소.당퇴화온도체도700℃시,납미정적정태봉강도현저증강,이차박막중여Ge유관적결함발광감약.채용중자선변참잡법대천연Ge납미정진행료참잡,X사선형광광보수거표명,양품중성공적인입료Ga잡질화As잡질.박막중형성적여Ge유관적결함구유은정적결구,중자복조지후기발광잉연존재,이차,참잡후적양품중몰유발현여Ga혹As유관적결함발광.
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