激光直写邻近效应的校正
격광직사린근효응적교정
Optical Proximity Correction in Laser Direct Writing
  • 万方数据
    光学学报 광학학보
    ACTA OPTICA SINICA
    1999年 7期 953-957 ,共5页

    杜惊雷%黄奇忠%姚军%张怡霄%郭永康%邱传凯%崔铮

    두량뢰%황기충%요군%장이소%곽영강%구전개%최쟁

    激光直写%亚微米%邻近效应%光学邻近校正 激光直寫%亞微米%鄰近效應%光學鄰近校正
    격광직사%아미미%린근효응%광학린근교정
    邻近效应是限制光刻系统分辨力的一个重要因素, 它也限制了激光直写在亚微米和亚半微米光刻中的应用. 分析了激光直写邻近效应产生的原因, 指出它和电子束直写及投影光刻的区别, 提出了一种简便有效的邻近校正方法. 实验表明, 通过光学邻近校正(OPC), 利用微米级激光直写系统, 制作出了0.6 μm的实用光刻线条.
    린근효응시한제광각계통분변력적일개중요인소, 타야한제료격광직사재아미미화아반미미광각중적응용. 분석료격광직사린근효응산생적원인, 지출타화전자속직사급투영광각적구별, 제출료일충간편유효적린근교정방법. 실험표명, 통과광학린근교정(OPC), 이용미미급격광직사계통, 제작출료0.6 μm적실용광각선조.
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