无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2003年
4期
947-950
,共4页
cBN%ECR CVD%热丝
cBN%ECR CVD%熱絲
cBN%ECR CVD%열사
立方氮化硼(cBN)是一种具有广泛应用价值的Ⅲ-V族二元化合物,其优异性质可与金刚石相比拟或胜之.立方氮化硼的制备与性能研究是近二十年来材料领域关注的焦点之一.我们用热丝辅助ECR CVD方法制备了cBN薄膜,并初步探讨了热丝对cBN形成的作用.偏压并不是cBN形成的唯一主要条件,活性粒子也有非常关键的作用.
立方氮化硼(cBN)是一種具有廣汎應用價值的Ⅲ-V族二元化閤物,其優異性質可與金剛石相比擬或勝之.立方氮化硼的製備與性能研究是近二十年來材料領域關註的焦點之一.我們用熱絲輔助ECR CVD方法製備瞭cBN薄膜,併初步探討瞭熱絲對cBN形成的作用.偏壓併不是cBN形成的唯一主要條件,活性粒子也有非常關鍵的作用.
립방담화붕(cBN)시일충구유엄범응용개치적Ⅲ-V족이원화합물,기우이성질가여금강석상비의혹성지.립방담화붕적제비여성능연구시근이십년래재료영역관주적초점지일.아문용열사보조ECR CVD방법제비료cBN박막,병초보탐토료열사대cBN형성적작용.편압병불시cBN형성적유일주요조건,활성입자야유비상관건적작용.
