真空
真空
진공
VACUUM
2003年
5期
58-60
,共3页
无油分子泵%机组%组装
無油分子泵%機組%組裝
무유분자빙%궤조%조장
介绍了将ALCATEL公司生产的一台ATP100涡轮分子泵、一台MDP5011牵引分子泵及一台VRC公司生产的1By6型干泵组装成无油分子泵机组的过程.文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择.本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷,较好地满足了使用要求,为今后选购单泵和组装无油分子泵机组提供了可靠的理论和实验依据.
介紹瞭將ALCATEL公司生產的一檯ATP100渦輪分子泵、一檯MDP5011牽引分子泵及一檯VRC公司生產的1By6型榦泵組裝成無油分子泵機組的過程.文中給齣瞭泵間配閤的計算、機組方案的設計、連接管路、儀器支架的設計及選擇.本機組所採取的設計方案使三箇泵都最大限度地髮揮瞭優點避免瞭缺陷,較好地滿足瞭使用要求,為今後選購單泵和組裝無油分子泵機組提供瞭可靠的理論和實驗依據.
개소료장ALCATEL공사생산적일태ATP100와륜분자빙、일태MDP5011견인분자빙급일태VRC공사생산적1By6형간빙조장성무유분자빙궤조적과정.문중급출료빙간배합적계산、궤조방안적설계、련접관로、의기지가적설계급선택.본궤조소채취적설계방안사삼개빙도최대한도지발휘료우점피면료결함,교호지만족료사용요구,위금후선구단빙화조장무유분자빙궤조제공료가고적이론화실험의거.