核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2006年
10期
730-733
,共4页
氩离子源%空心阴极%空心阳极%磁场%离子源性能%溅射沉积
氬離子源%空心陰極%空心暘極%磁場%離子源性能%濺射沉積
아리자원%공심음겁%공심양겁%자장%리자원성능%천사침적
离子源技术是等离子体研究中的一项重要内容,而低能大束流源则是离子源技术研究中的一个重要方向,因为这样的源在离子束刻蚀、离子束溅射镀膜以及荷能粒子与物质相互作用方面都有广泛的应用;本文采用空心阴极空心阳极结构,用热阴极电子发射弧放电驱动并用磁场约束产生等离子体,用曲面发射引出离子束,研制成了氩气放电溅射离子源;研究了灯丝加热电流、弧压对弧流的影响和弧流与工作气体压力对离子束引出的影响规律.离子源的引出电压在0-4.0 kV之间连续可调,最大引出束流为100 mA,束斑面积为φ6.0 cm,以Ti为溅射靶时的最大溅射沉积率为0.45 nm/s,离子源可连续工作160 h.
離子源技術是等離子體研究中的一項重要內容,而低能大束流源則是離子源技術研究中的一箇重要方嚮,因為這樣的源在離子束刻蝕、離子束濺射鍍膜以及荷能粒子與物質相互作用方麵都有廣汎的應用;本文採用空心陰極空心暘極結構,用熱陰極電子髮射弧放電驅動併用磁場約束產生等離子體,用麯麵髮射引齣離子束,研製成瞭氬氣放電濺射離子源;研究瞭燈絲加熱電流、弧壓對弧流的影響和弧流與工作氣體壓力對離子束引齣的影響規律.離子源的引齣電壓在0-4.0 kV之間連續可調,最大引齣束流為100 mA,束斑麵積為φ6.0 cm,以Ti為濺射靶時的最大濺射沉積率為0.45 nm/s,離子源可連續工作160 h.
리자원기술시등리자체연구중적일항중요내용,이저능대속류원칙시리자원기술연구중적일개중요방향,인위저양적원재리자속각식、리자속천사도막이급하능입자여물질상호작용방면도유엄범적응용;본문채용공심음겁공심양겁결구,용열음겁전자발사호방전구동병용자장약속산생등리자체,용곡면발사인출리자속,연제성료아기방전천사리자원;연구료등사가열전류、호압대호류적영향화호류여공작기체압력대리자속인출적영향규률.리자원적인출전압재0-4.0 kV지간련속가조,최대인출속류위100 mA,속반면적위φ6.0 cm,이Ti위천사파시적최대천사침적솔위0.45 nm/s,리자원가련속공작160 h.
