高分子学报
高分子學報
고분자학보
ACTA POLYMERICA SINICA
2008年
1期
1-7
,共7页
肖继君%早川晃镜%柿本雅明
肖繼君%早川晃鏡%柿本雅明
초계군%조천황경%시본아명
负型光敏聚合物%支化聚合物%支化度%肉桂酰氯
負型光敏聚閤物%支化聚閤物%支化度%肉桂酰氯
부형광민취합물%지화취합물%지화도%육계선록
研究了由未端化支化聚酰胺、交联剂(MBHP)和光酸产生剂(PTMA)所组成的三元负型光敏聚合物体系.其中,不对称ABB'型单体4-(2,4-二氨基苯氧基)苯甲酸3在亚磷酸三苯酯(TPP)和吡啶(Py)的存在下,通过缩合聚合得到支化聚酰胺a,由其1H-NMR数据计算得支化度(DB)为0.36.接着用肉桂酰氯对支化聚酰胺进行末端化.采用IR,1H-NMR,GPC,TG/DTA对支化聚酰胺和末端化支化聚酰胺b的结构和性能进行了表征.由85 wt%末端化支化聚酰胺b、10 wt%交联剂(MBHP)和 5 wt%光酸产生剂(PTMA)所组成的光敏聚合物体系,在100℃预烘10 min,采用436 nm(g-line)紫外光曝光,随后在25℃于二甲基甲酰胺中显影10 s,用水漂洗,110℃后烘3 min后,得到负型图案,边界清晰且分辨率达40 μm.
研究瞭由未耑化支化聚酰胺、交聯劑(MBHP)和光痠產生劑(PTMA)所組成的三元負型光敏聚閤物體繫.其中,不對稱ABB'型單體4-(2,4-二氨基苯氧基)苯甲痠3在亞燐痠三苯酯(TPP)和吡啶(Py)的存在下,通過縮閤聚閤得到支化聚酰胺a,由其1H-NMR數據計算得支化度(DB)為0.36.接著用肉桂酰氯對支化聚酰胺進行末耑化.採用IR,1H-NMR,GPC,TG/DTA對支化聚酰胺和末耑化支化聚酰胺b的結構和性能進行瞭錶徵.由85 wt%末耑化支化聚酰胺b、10 wt%交聯劑(MBHP)和 5 wt%光痠產生劑(PTMA)所組成的光敏聚閤物體繫,在100℃預烘10 min,採用436 nm(g-line)紫外光曝光,隨後在25℃于二甲基甲酰胺中顯影10 s,用水漂洗,110℃後烘3 min後,得到負型圖案,邊界清晰且分辨率達40 μm.
연구료유미단화지화취선알、교련제(MBHP)화광산산생제(PTMA)소조성적삼원부형광민취합물체계.기중,불대칭ABB'형단체4-(2,4-이안기분양기)분갑산3재아린산삼분지(TPP)화필정(Py)적존재하,통과축합취합득도지화취선알a,유기1H-NMR수거계산득지화도(DB)위0.36.접착용육계선록대지화취선알진행말단화.채용IR,1H-NMR,GPC,TG/DTA대지화취선알화말단화지화취선알b적결구화성능진행료표정.유85 wt%말단화지화취선알b、10 wt%교련제(MBHP)화 5 wt%광산산생제(PTMA)소조성적광민취합물체계,재100℃예홍10 min,채용436 nm(g-line)자외광폭광,수후재25℃우이갑기갑선알중현영10 s,용수표세,110℃후홍3 min후,득도부형도안,변계청석차분변솔체40 μm.